Nella produzione di semiconduttori, precisione e rendimento sono tutto.Un importante stabilimento di assemblaggio e imballaggio di microelettronica stava sperimentando problemi di microcracking e die-fly durante il processo di dischiamento dei waferIl colpevole è stato un sistema UV a mercurio obsoleto che ha fornito una non uniforme cura e un eccessivo stress termico sui nastri ultra-sottili UV.

Hanno collaborato con noi per integrare il nostro stato dell'arteSistema di curatura UV LED di grado semiconduttoreL' aggiornamento ha portato a un99.98% tasso di rendimento di dischi di wafer, zero deformazione termica su wafer sottili e una riduzione massiccia del tempo di ciclo.

Il cliente elabora wafer di silicio da 8 pollici e 12 pollici fino a spessori inferiori a 100 μm. Durante il processo di taglio dei wafer (segatura/taglio furtivo),Nastro ad incisivi UVdopo averlo tagliato, il nastro deve essere esposto a luce ultravioletta precisa per ridurne l'adesione,consentono di raccogliere le matrici delicate in modo pulito senza residui di adesivo o danni strutturali.

Il loro impianto tradizionale di lampade a mercurio ha creato ostacoli critici:

• Alta radiazione termica:Le lampadine a mercurio generavano un intenso calore infrarosso (IR), causando la deformazione di wafer sottili e la degradazione o fusione prematura del nastro UV.

• Irradiazione non uniforme:La distribuzione UV irregolare ha significato che alcune aree del nastro sono rimaste altamente adesive, portando a matrici spaccate o "die-fly" durante la fase di pick-and-place automatizzata.

• Sostituzione frequente delle lampadine:Le lampadine standard a mercurio si decompongono rapidamente, causando un dosaggio UV instabile che richiedeva costanti ricalibrazioni e fermi di produzione.

Per soddisfare i severi limiti di temperatura e controllo della contaminazione di una stanza pulita di Classe 100, il nostro team di ingegneri ha implementato la nostraSistema di cura UV LED a semiconduttore raffreddato ad acqua (lunghezza d'onda di 365 nm, intensità regolabile fino a 15 W/cm^2).

[Montaggio di wafer su nastro UV] [Trascinamento/segatura di precisione] [Esposizione istantanea a LED UV freddi (365nm) ] [Ripilotazione di matrice pulita e senza residui]

Il nostro sistema di LED UV a semiconduttori ha fornito immediati miglioramenti tecnici:

• • Curezza a freddo vera (temperatura del substrato < 30°C):Eliminando completamente le lunghezze d'onda infrarosse, il nostro sistema UV LED protegge le architetture di silicio più sottili e le cornici di wafer sensibili alla temperatura dalle distorsioni termiche.

  • Uniformità ottica impeccabile:Utilizzando l'ottica al quarzo progettata su misura, il sistema fornisce un campo UV uniforme >95% su tutta l'area di esposizione di 12 pollici.Questo garantisce una riduzione perfettamente coerente dell'adesione su ogni singola striscia sul nastro.

  • raffreddamento liquido conforme alle norme della stanza pulita:Il design completamente sigillato e raffreddato ad acqua impedisce turbolenze dell'aria e generazione di particelle, rendendolo pienamente compatibile con i severi standard delle camere pulite.

Il passaggio al nostro sistema di raffreddamento UV LED industriale ha ridefinito l'efficienza dell'assemblaggio back-end del cliente:

• 99.98% Reddito di taglio:La raccolta a matrice pulita ha ottenuto zero residui di adesivo ed ha eliminato il micro-cracking meccanico in tutti i lotti di produzione.

• Processing istantaneo e maggiore throughput:Non sono necessari cicli di riscaldamento o raffreddamento.45%.

• Ineguagliabile stabilità e longevità:con una durata di vita superiore a20,000 ore, il sistema LED UV fornisce la stessa intensità UV mese dopo mese, eliminando i caduti di rendimento imprevedibili.

Feedback del direttore della fabbrica: "L'aggiornamento a questo sistema LED UV industriale ha risolto i nostri problemi di deformazione dei wafer di lunga data.e il tempo di fermo di manutenzione è effettivamente sceso a zero. "

Potenziare la linea di assemblaggio dei semiconduttori

Se desiderate eliminare le micro crepe, assicurare un rilascio preciso del nastro UV e proteggere i wafer fragili dallo stress termico, collaborate direttamente con un produttore esperto di cure UV.Il nostro team di ingegneri progetta soluzioni UV LED ad alta uniformità personalizzate configurate per le specifiche delle vostre stanze pulite e linee di automazione.

• [Esplorate le nostre soluzioni LED UV per la cura di semiconduttori e wafer]